荷兰着急出口!问中国买不买光刻机,突然开窍的背后有没有内幕?

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荷兰在针对中国半导体产业的封锁行动中,长期作为美国的“忠实伙伴”,多次出手干预,阻碍阿斯麦(ASML)光刻机进入中国。

然而,最近荷兰政府却突然放出风声,称可能恢复部分光刻机对华出口,这一突如其来的态度转变,让全球半导体行业措手不及,纷纷猜测其中缘由。

那么荷兰为何那么着急向中国出口光刻机?他们不怕美国干预了吗?我们面对荷兰可疑的“热情”,又是否应该购买呢?

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荷兰缘何对美国言听计从?

自2019年,美国便以“国家安全”为由,对荷兰政府施加巨大压力,要求其阻止ASML向中国出口最先进的EUV光刻机。尽管ASML与中国企业已接近达成购买协议,但在美国的强烈干预下,这一合作最终未能实现。

拜登政府上台后,美国的半导体封锁政策更是变本加厉,不仅EUV光刻机被禁,连DUV光刻机也被纳入出口管制范围,对中国半导体产业造成了极大的冲击。尽管ASML的首席执行官彼得・温宁克多次表示,限制对华出口并不符合荷兰的经济利益,但荷兰政府最终还是在美国的压力下妥协。

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美国通过经济、军事和科技等多方面的施压,迫使荷兰在半导体产业上采取对华限制政策。荷兰虽然是欧盟的重要经济体之一,但在全球地缘政治中,独立性却相对有限。

一方面,荷兰作为北约成员国,其外交政策在很大程度上受到美国的影响;另一方面,ASML的光刻机制造涉及多个国家的供应链,其中关键的光源由美国Cymer公司提供,光学镜片则由德国蔡司提供。一旦荷兰不配合美国的政策,美国完全有能力切断这些供应链,对ASML造成毁灭性的打击。

此外,美国还利用《芯片法案》等经济政策对荷兰进行威胁,如果荷兰不遵从美国的意愿,可能会面临市场准入等方面的限制。然而,令荷兰意想不到的是,对中国的半导体封锁,反而促进了中国国产技术和设备的进步!

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中国国产光刻机迎来重大进展?

2024年9月,中国工信部宣布,国产DUV光刻机已成功研发,能大规模生产28nm芯片,标志着中国中端芯片制造实现自主可控的里程碑。国产DUV光刻机包括氟化氪(KrF)光刻机和氟化氩(ArF)光刻机。

其中,KrF光刻机能够实现110纳米以下的分辨率,适用于多种集成电路制造工艺;ArF光刻机则使用193纳米波长的光源,提供更高的分辨率,能够实现65纳米以下的制程技术。

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此次技术突破涉及多个关键创新,哈尔滨工业大学团队成功攻克EUV光刻机的核心光源技术;长春光机所也不甘示弱,在高端反射镜制造技术方面取得了重大突破,使得国产EUV光刻机实现关键零部件自给自足。此外,中国本土的光刻胶、蚀刻设备等也不断完善,进一步削弱了对国外技术和材料的依赖。

2024年ASML全球营收降15%,至2025年一季度,中国销售额达70亿欧元,占其全球收入的42%。ASML在中国市场的营收,曾占其全球营收的近半壁江山,但随着出口禁令的收紧,这一比例正在逐渐下滑。面对这一局势,荷兰方面显得颇为焦急。

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荷兰欲售光刻机,我们还会接纳吗?

ASML的首席执行官彼得·温宁克曾明确表示:“我们是一家商业公司,而非政治工具。”但事实证明,从2024年前三季度的财报来看,中国市场对其营收的贡献已大幅下降,整体业绩也受到了严重冲击。是否有两全其美的做法,让荷兰既能恢复对华出口、保住市场份额,又能避免与美国彻底决裂。

于是,荷兰政府开始调整其立场和政策。他们不再公布对华出口的具体细节,为ASML提供了一定的操作空间。同时,荷兰政府还允许出口一些成熟制程的设备,这意味着荷兰在试探美国底线,既想维持对华市场,又不想彻底惹怒美国。

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事实上,中国半导体行业的发展势头,并未因为技术封锁而减弱。随着国产光刻机和半导体产业链的日益完善,我们对ASML的依赖程度正在逐渐降低。未来,荷兰将如何在美国的压力下做出抉择?是继续牺牲自身利益以迎合美国,还是果断调整政策以寻求新的平衡?这场博弈,会是一场旷日持久的较量!

现在,在技术层面,我国自主研发的DUV光刻机,已成功跨越28nm乃至7nm级别的芯片生产门槛,对ASML的DUV设备依赖程度显著降低。中芯国际、华虹集团等企业,都在大力推动国产光刻机;上海微电子也在加速推进高端DUV光刻机的量产。

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但在高端芯片制造,EUV光刻机依然是无可争议的王者。目前,我国尚未完全掌握EUV光刻机的核心技术。因此,我国半导体企业对于ASML的EUV设备仍有一定的需求,以维持高端芯片的市场竞争力。对于高端EUV光刻机,我们的战略更加明智和务实。

虽然EUV光刻机在短期内仍然具有重要意义,但长期来看,我们的目标是实现全方位的技术自给自足。即使荷兰方面放宽出口限制,我国也不会再像过去那样盲目追求ASML设备,而是会更加注重扶持本土光刻机产业的发展。此外,专家也提醒,购买EUV光刻机存在一定的风险。

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ASML的EUV光刻机依赖于美国、日本、德国等多个国家的技术,如果美国进一步收紧技术出口政策,即使购买了设备也可能面临零部件供应不足的问题。而且,EUV光刻机的维护、软件更新都需要依赖ASML公司!据知情人士透露,ASML曾向荷兰政府官员表示,有能力远程禁用台积电的光刻机设备。

美国真的值得信赖吗?

长久以来,荷兰政府在半导体出口政策上一直受到美国的影响。2023年9月,荷兰政府宣布进一步扩大了对中国光刻机出口的限制,中荷多轮谈判彻底破裂。2025年1月,荷兰政府新举措:加强先进半导体设备出口管制,更多设备和技术需国家授权。

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然而,随着全球半导体市场的变化,荷兰若继续盲目追随美国的封锁政策,恐怕会陷入进退两难的境地。中国,这个全球最大的市场,对半导体产品和设备的需求依旧旺盛。

截至2024年上半年,中国采购的芯片制造设备总量已超过美国、韩国和台湾地区的总和;在芯片制造设备上的投入超过250亿美元(约合人民币1750亿元),且这一数字仍在持续增长。一旦中国成功突破光刻机等关键设备的自主研发和生产,ASML再想重返中国市场,将变得异常艰难。

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其次,美国方面也并非完全可靠。他们正积极与日本、IBM等企业合作研发高NA EUV光刻机。主要参与者包括美国、日本、IBM、应用材料、美光以及东京电子等企业。IBM与其合作伙伴,已在纽约州奥尔巴尼纳米技术中心取得了重大突破。

通过高NA EUV光刻技术实现了21纳米间距的图案化,为2纳米以下的芯片制造铺平了道路。一旦这项技术取得突破,ASML在全球市场的领先地位将面临严重威胁。荷兰若一味追随美国政策,最终可能会发现自己被边缘化,失去在全球半导体市场的话语权。

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荷兰该如何寻求平衡?

危机往往孕育着新的机遇!在当前复杂的国际形势下,荷兰需要权衡自身利益,并积极寻找与中国的合作。例如,飞利浦公司就与中国企业携手,在医疗设备和技术领域开展合作,共促医疗产业升级。同时,皇家帝斯曼集团也与中国伙伴联手,开发食品和营养品市场,为消费者带来更高品质的产品与服务。

在全球半导体设备市场竞争日益激烈的情况下,荷兰需要采取更加务实的合作策略,以维持和扩大在中国等市场的影响力。ASML可以尝试采用新的出口模式,与中国进行深度合作,不仅销售设备,还可以进行技术交流和专利授权。

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荷兰甚至可以考虑允许中国企业在荷兰设立合资研发机构,从而巧妙绕过敏感技术的出口限制,并保护ASML自己在中国的市场竞争力。

是继续作为美国的“附庸”,失去自主权和话语权;还是寻找一条更符合自身利益的发展道路,实现真正的独立和自主?这是荷兰政府面临的重要抉择,也是全球半导体市场关注的焦点。美国试图利用荷兰来制衡中国,但荷兰政府如今已经逐渐意识到这一点。

荷兰着急出口!问中国买不买光刻机,突然开窍的背后有没有内幕?

未来,中国是否会继续购买ASML的光刻机,将取决于市场需求以及中国本土技术的发展情况。在这场半导体行业的较量中,荷兰必须做出明智的选择。

参考资料:

产业专利分析报告(第84册)——高端光刻机 知识产权出版社 2022

集成电路与光刻机 科学出版社 2020